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阵列探测器紫外增强和软X射线镀膜

       普通的阵列探测器,如前照式CCDCMOS因为有效硅吸收层上方有比较厚的二氧化硅、氮化硅、金属层等,对紫外波段反射、折射和吸收强烈。又或者消费级的背照式CCDCMOS探测器表面镀有对紫外有很强吸收的high K膜;同时还有可见光抗反射膜,这种膜对紫外光有较强的干涉降低效应。这些因素都使得阵列探测器对紫外波段的响应较差。如果使用半导体工艺方法实现对阵列探测器紫外或者软X射线的响应,需要定制专门的芯片,增加了成本。

      谱摩科技在多年镀膜经验基础上,推出芯片镀膜服务,可在CCDCMOS探测器表面镀上一层荧光膜(如LumogenGdO2S),用于将紫外或软X射线转换可见光,最后被探测器接收。

       通过不同材料和工艺的优化,谱摩科技的紫外增强镀膜最低可响应50nm的紫外入射光线。